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2020
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半導(dǎo)體工藝真空主要用于蒸發(fā)、濺射、PECVD、真空干法刻蝕、真空吸附、測試設(shè)備、真空清洗等鍵合工藝。半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃、易爆、有毒物質(zhì)和氣體，對生產(chǎn)和人員安全構(gòu)成威脅。因此，半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中的幾個安全注意事項如下: 1.定期清潔真空泵及其他附件、過濾器和管道，以避免過壓 在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中，當(dāng)介質(zhì)在介質(zhì)提取過程中通過反應(yīng)室和真空泵時，介質(zhì)的組成可能極其復(fù)雜。例如，SiH4和O2在泵口形成二氧化硅，而四氯化鈦水解形成氯化氫。假設(shè)使用油封機(jī)械泵，這些氣態(tài)物質(zhì)也可能與泵油發(fā)生反應(yīng)。這些變化假設(shè)顆粒、可冷凝物或腐蝕性介質(zhì)的形成，可能會堵塞真空泵或管道系統(tǒng)，影響真空泵的性能，導(dǎo)致壓力升高或過壓，并帶來更大的風(fēng)險。因此，有必要及時清理，必要時設(shè)置過濾設(shè)備。 2.有效稀釋有害氣體的濃度 半導(dǎo)體容易產(chǎn)生上述易燃、易爆和有毒有害氣體。因此，在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中，當(dāng)抽取這些介質(zhì)時，有必要防止真空泵或排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。例如，當(dāng)與空氣或氧氣接觸時，SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物質(zhì)會引起燃燒甚至爆炸。當(dāng)空氣中氫氣的混合比例達(dá)到一定程度和溫度時，也會發(fā)生燃燒。這些都取決于物質(zhì)的數(shù)量及其與環(huán)境壓力和溫度的關(guān)系。因此，當(dāng)半導(dǎo)體真空泵提取這些介質(zhì)時，在壓縮前的當(dāng)前條件下，需要惰性氣體如氮氣將這些氣體稀釋到安全范圍?！ ?.注意氧氣的濃度 如果空氣中的氧氣濃...
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如果您從事木工行業(yè)，那么您可能已經(jīng)熟悉工業(yè)真空泵。從固定和提升到層壓和木材干燥，這些機(jī)器對于推動木工過程中涉及的各種應(yīng)用至關(guān)重要。但是您是否知道最適合該行業(yè)的真空泵技術(shù)類型? 木料用什么真空泵更好? 一般而言，旋轉(zhuǎn)螺桿真空泵和干爪真空泵是木工應(yīng)用的理想選擇，因為它們是非接觸式真空技術(shù)，不會遭受性能元件的磨損?！ ∨c葉片泵相比，GHS VSD +等旋轉(zhuǎn)螺桿泵具有較高的性能水平，并減少了維護(hù)，噪音和熱量散發(fā)-所有這些都?xì)w功于螺桿技術(shù)。它們通常配備VSD技術(shù)(使其非常經(jīng)濟(jì))，并且還具有壓力設(shè)定點控制功能，可確保泵提供盡可能低的真空流量，從而可以維持所需的真空度。結(jié)果?降低了生命周期的運營成本，并且沒有浪費過多的能源?！ 「墒阶Ρ靡彩悄竟さ睦硐爰夹g(shù)。由于主泵腔中沒有潤滑，因此沒有污染的威脅。其次，沒有任何磨損-兩個爪形轉(zhuǎn)子彼此相反的方向運行;它們不會彼此接觸，也不會與泵室接觸!這意味著沒有磨損，非常耐用，并且可以維修和清潔。干式爪泵也可以組合成多系統(tǒng)單元。 恒才機(jī)電廠家主要真空泵產(chǎn)品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水環(huán)真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列羅茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺桿真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系統(tǒng)等產(chǎn)品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas)，司倍克speck產(chǎn)品.真空泵廠家恒才機(jī)電憑借多年的生產(chǎn)制造經(jīng)驗，一流的技術(shù)人...
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旋片真空泵主要用于獲得低、中真空度，它可分為油封泵和干式泵，根據(jù)所要求的真空度，還可以分為單級泵和雙級泵(使用更普遍)。旋片真空泵主要是由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋和彈簧等部件構(gòu)成。在旋片真空泵的腔內(nèi)，有偏心地安裝了一個轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外邊與腔內(nèi)表面相切，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的兩個旋片。當(dāng)轉(zhuǎn)子在運轉(zhuǎn)的過程中，旋片能沿其徑向槽成往復(fù)式地滑動，并且與泵殼內(nèi)表面始終相接觸，此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而把真空泵腔體分為多個可變?nèi)莘e空間。 在使用旋片真空泵時，需要注意以下事項 1.在使用旋片式真空泵前，需要保持泵的清潔，以免雜物進(jìn)入泵體里面。檢查油量，加油至油標(biāo)中心處，如果太低就會對排氣閥起不到油封的作用，對真空泵的真空度產(chǎn)生影響;如果過高，會產(chǎn)生噴油反應(yīng)。在真空泵運轉(zhuǎn)的時候會有正常的油量上升反應(yīng)。在加油時，要使用符合規(guī)定的真空泵品牌的清潔真空泵油，從注油孔加入完畢之后，為防止其他雜物進(jìn)入真空泵油倉內(nèi)，要進(jìn)行過濾且堵塞油孔?！ ?.在旋片真空泵工作環(huán)境溫度過高時，旋片真空泵的油溫度也會升高，這是熱分子運動加快，油的粘度降低，導(dǎo)致飽和蒸氣壓變大，最終引起極限真空度變低，德耐爾真空泵廠家技術(shù)人員指出，想要使得真空泵真空度得到改善，可以加大風(fēng)力，改善真空泵油的質(zhì)量，從而降低溫度加快散熱。 3.在使用旋片真空泵的作業(yè)過程中，抽取的物質(zhì)不應(yīng)該是含氧量過高、含水蒸氣量過高、易燃易爆以及對金屬有腐蝕性的氣體物質(zhì)，...
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液環(huán)真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵，可獲得2000-4000帕的極限真空，液環(huán)真空泵與真空泵組成的機(jī)組真空度可達(dá)1-600帕。水環(huán)泵適用于輸送氣液混合物。這種泵也可以用作空氣泵和空氣壓縮機(jī)。它產(chǎn)生高絕對真空。壓縮比取決于旋轉(zhuǎn)水環(huán)的壓力以及側(cè)壁上排放口的大小和形狀。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱為水環(huán)壓縮機(jī)，屬于低壓壓縮機(jī)，其壓力范圍為1 ~ 2× 10 5pa表壓。 水環(huán)泵最初用作自吸泵，然后逐漸用于許多工業(yè)部門，如石油、化學(xué)工業(yè)、機(jī)械、采礦、輕工業(yè)、醫(yī)藥和食品。在許多工業(yè)過程中，如真空過濾、真空引水、真空進(jìn)料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣，水環(huán)泵被廣泛使用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的迅速發(fā)展，水環(huán)泵在獲得原油真空方面受到了重視。由于水環(huán)泵中的氣體壓縮是等溫的，易燃易爆氣體以及含塵和含水氣體都可以去除。因此，水環(huán)泵的應(yīng)用日益增多。其他合適的液體也可以用作水環(huán)真空泵的工作流體。無論使用哪種工作流體，都統(tǒng)稱為液環(huán)真空泵。水環(huán)真空泵是最常見的液環(huán)真空泵?！ ∽顝V泛使用的泵。泵體充滿適量的水作為工作流體。當(dāng)葉輪在圖中順時針旋轉(zhuǎn)時，水被葉輪甩來甩去。由于離心力的作用，根據(jù)泵室的形狀，水形成厚度大致相等的閉合環(huán)。水環(huán)下部的內(nèi)表面正好與葉輪輪轂相切，水環(huán)上部的內(nèi)表面正好與葉片的尖端接觸(事實上，葉片在水環(huán)中具有一定的插入深度)。此時，在葉輪輪轂和水環(huán)的內(nèi)界面之間形成新月形空間，并且該...
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真空泵的功能是從真空室中去除氣體分子，并降低真空室中的氣壓以達(dá)到所需的真空度。一般來說，從大氣到極高真空有一個很大的范圍，到目前為止沒有一個真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此，為了達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備使用壽命要求，需要為不同的真空段選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為了獲得最佳配置，在選擇真空機(jī)組系統(tǒng)時應(yīng)考慮以下幾點: 1.真空泵的極限壓力應(yīng)滿足工藝的工作壓力。通常，所選泵的極限壓力比工藝要求低一個數(shù)量級?！ ?.每個泵都有一定的工作壓力范圍。因此，泵的工作點應(yīng)選擇在此范圍內(nèi)，不允許在超過允許工作壓力的情況下長時間工作?！ ?.在其工作壓力下，真空泵應(yīng)該能夠排出真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體?！ ?.選擇真空機(jī)組裝置: (1)當(dāng)一臺泵不能滿足抽氣和真空的要求時，需要將幾臺泵組合起來，相互補(bǔ)充，以滿足工藝要求?！ ?2)有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)抽真空;一些真空泵的出口壓力低于大氣壓，需要一個前置泵，所以所有的泵都需要組合使用。通過真空泵的組合，我們稱之為真空泵機(jī)組，它能使真空系統(tǒng)獲得更好的真空度和排量。我們應(yīng)該正確選擇組合式真空泵，因為不同的真空泵對被抽出的氣體有不同的要求，例如:羅茨-轉(zhuǎn)子機(jī)組不適合在正常情況下含有較多可冷凝氣體的系統(tǒng)?！ ?.當(dāng)你選擇一個油封泵時，你應(yīng)該首先知道你的真空系統(tǒng)是否對油污染有要求。如果設(shè)備嚴(yán)格要求無油，應(yīng)選用各種非油泵，如:水環(huán)泵、低溫...