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2019 - 10 - 18
水環(huán)式真空泵(簡(jiǎn)稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限壓力,對(duì)于單級(jí)泵為 2.66~9.31kPa;對(duì)于雙級(jí)泵為 0.133~0.665kPa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī),它屬于低壓的壓縮機(jī),其壓力范圍為( 1~2)X105Pa表壓力(在特定的條件下)。水環(huán)泵在石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、造紙、動(dòng)力、冶金、醫(yī)藥和食品等工業(yè)及市政與農(nóng)業(yè)等部門的許多工藝過程中,如真空過濾、真空送料、真空脫氣、真空蒸發(fā)、真空濃縮和真空回潮等,得到了廣泛的應(yīng)用,由于水環(huán)泵壓縮氣體的過程是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵,含水的氣體,因此,水環(huán)泵的應(yīng)用日益增大?! ∷h(huán)泵的工作原理示意圖,水環(huán)泵是由葉輪、泵體、吸排氣盤、水在泵體內(nèi)壁形成的水環(huán)、吸氣口、排氣口、輔助排氣閥等組成的。  葉輪被偏心的安裝在泵體中,當(dāng)葉輪按圖示方向旋轉(zhuǎn)時(shí),進(jìn)入水環(huán)泵泵體的水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個(gè)與泵腔形狀相似的等厚度的封閉的水環(huán)。水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切(如Ⅰ -Ⅰ斷面),水環(huán)的下部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上,葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時(shí),葉輪輪轂與水環(huán)之間形成了一個(gè)月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成與葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的上部 0°為起點(diǎn),那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前 180°時(shí),小腔的容積逐漸由小變大(即從斷面Ⅰ -Ⅰ到Ⅱ -Ⅱ),壓強(qiáng)不...
2019 - 10 - 30
羅茨真空泵的抽速與前級(jí)真空泵的抽速之間的關(guān)系主要取決于體積效率和羅茨真空泵的壓差。如果容積效率低,則羅茨真空泵裝置的有效抽速會(huì)大幅下降。如果羅茨真空泵的壓差超過最大允許壓差,則壓縮功將導(dǎo)致轉(zhuǎn)子過熱并被卡住。因?yàn)楸脷ず苋菀椎街車沫h(huán)散熱仍然不太熱?! ×_茨真空泵的最大允許壓差在40-100hPa之間。在較高的壓力范圍(150hPa)中,允許的壓差會(huì)稍高一些,這是因?yàn)槌闅饬恐档酶兄x,并且改進(jìn)了轉(zhuǎn)子。冷卻。隨著壓差的增加,不可避免地會(huì)增加所需的功率?! ×_茨真空泵的出口管中安裝了專用的氣體冷卻器,由于冷卻氣體的回流可以將轉(zhuǎn)子的溫度保持在指定范圍內(nèi),因此可以增加最大允許壓差?! ?nèi)。在真空和高真空范圍內(nèi),抽速比多使用10:1。當(dāng)入口壓力變化較大或前級(jí)壓力變小時(shí),壓縮比降低,因此抽速比多選擇?! ?.當(dāng)羅茨真空泵在較高壓力下啟動(dòng)時(shí),壓力迅速下降并達(dá)到所需壓力。盡管啟動(dòng)時(shí)超過了最大允許壓力差,但短時(shí)過載(幾分鐘后)正常的羅茨真空泵電動(dòng)機(jī)不會(huì)引起問題。當(dāng)入口壓力非常低或預(yù)真空泵氣鎮(zhèn)閥工作時(shí),通常使用兩級(jí)預(yù)真空泵,否則很難達(dá)到羅茨真空泵所需的預(yù)壓力,并且在此壓力下進(jìn)行前期泵的抽速太低。這將導(dǎo)致壓縮比過高并降低容積效率?! ?.當(dāng)泵的入口壓力在真空度范圍內(nèi)時(shí),這是允許的最大壓差成為重要因素。當(dāng)入口壓力為15hPa時(shí),羅茨真空泵與前級(jí)真空泵的泵速比為6:1,而當(dāng)入口壓力為75hPa時(shí)為2:1。在羅茨真...
2019 - 11 - 05
水環(huán)真空泵常見故障  第一,水環(huán)真空泵真空度不夠  可能的原因:電機(jī)電源不足導(dǎo)致轉(zhuǎn)速不足;供水不足;葉輪和分配板之間的間隙過大;機(jī)械密封損壞,導(dǎo)致漏水漏氣;葉輪過度磨損;循環(huán)水不能排放?! ∨懦椒?檢查電源電壓是否在電機(jī)額定電壓范圍內(nèi);增加供水(必須控制在正確的范圍內(nèi),否則會(huì)導(dǎo)致電機(jī)過載和發(fā)熱);調(diào)整葉輪和分配器板之間的間隙(一般為0.15-0.20毫米);更換機(jī)械密封;更換葉輪;檢查出水管?! 〉诙?,水環(huán)真空泵不能啟動(dòng),或者會(huì)發(fā)出很大的噪音  可能的原因:電機(jī)電源電壓不足;馬達(dá)無相位運(yùn)轉(zhuǎn)。泵長(zhǎng)期不用導(dǎo)致生銹;泵內(nèi)雜物的吸入;葉輪拖動(dòng)分配器板?! ∨懦椒?檢查電源電壓是否過低;檢查電機(jī)接線是否牢固;如果泵長(zhǎng)時(shí)間不用,可以添加除銹劑或打開泵蓋除銹。打開泵蓋清除雜物;調(diào)整葉輪和分配板之間的距離。  第三,水環(huán)真空泵電機(jī)過熱  可能的原因:過量供水導(dǎo)致電機(jī)過載;電機(jī)缺相;通風(fēng)口被堵住了;葉輪拖動(dòng)其他零件?! ∨懦椒?將供水減少至正常范圍(參見泵操作說明中的供液量);檢查接線是否牢固;檢查排氣口;打開泵蓋,調(diào)整葉輪和其他部件之間的間隙?! 〉谒?,水環(huán)真空泵流量不足  可能的原因:管道泄漏;阻力損失增加?! ∨懦椒?檢查接頭處的機(jī)械密封;檢查管道和止回閥有無故障?! ∷h(huán)真空泵的日常維護(hù)  (1)正常工作時(shí),應(yīng)注意檢查軸承的工作和潤滑情況。建議其溫度(軸承和外圈)一般比環(huán)境溫度高15...
2019 - 11 - 07
水環(huán)真空泵是液體環(huán)真空泵是最常見的一種。液環(huán)真空泵是安裝在泵殼體中的多葉片轉(zhuǎn)子具有偏心。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí),液體拋出和泵殼體與所述泵殼的液體環(huán)同心,形成體積排量泵和所述轉(zhuǎn)子葉片的液體環(huán)旋轉(zhuǎn)周期變化。當(dāng)工作流體是水,所述水環(huán)泵。       水環(huán)真空泵在聚氯乙烯行業(yè)的應(yīng)用  近幾年來我國啟動(dòng)了許多大型的基本建設(shè)和技術(shù)改造項(xiàng)目,這些項(xiàng)目的實(shí)童都需要大量的聚氯乙烯材料,特別是房地產(chǎn)的興旺,更加推動(dòng)了聚氯乙烯行業(yè)的發(fā)展,據(jù)氯堿行業(yè)的統(tǒng)計(jì),我國去年生產(chǎn)了410萬噸聚氯乙烯,進(jìn)口了200可噸。據(jù)該行業(yè)的預(yù)測(cè),2005年的全國需求量將達(dá)800萬噸,而到了2010年將達(dá)到1500萬噸,正是因?yàn)樾枨罅扛咚僭黾?,使得我國的氯堿行業(yè)的企業(yè)加改造擴(kuò)產(chǎn),并且近一、二年新上了許多企業(yè)。氯堿企業(yè)的發(fā)展,必須配套水陜空泵和水環(huán)壓縮機(jī)j用以抽除和壓縮乙炔和氫氣的水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)過去也不過30m3/min,而現(xiàn)在年產(chǎn)10萬噸燒堿和10萬噸聚氯乙烯的企業(yè),需要的水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)達(dá)70m3/min以上?! ∷h(huán)真空泵和其它類型的機(jī)械真空泵相比有以下優(yōu)點(diǎn)  1、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,制造精度要求不高,容易加工。  2、結(jié)構(gòu)緊湊,泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高,一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián),無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小?! ?、壓縮氣體基本是等溫的(通常多變壓縮指數(shù)n=1.1~1.15...
2019 - 11 - 11
隨著雕刻行業(yè)的發(fā)展,市場(chǎng)對(duì)雕刻機(jī)廠家提出了更高的要求。雕刻市場(chǎng)的生產(chǎn)細(xì)分行業(yè)的日益成熟,CNC雕刻滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需要,但也更簡(jiǎn)潔的用戶界面。在一個(gè)重要的角色CNC雕刻機(jī)工作真空系統(tǒng)作用,最近把一些CNC雕刻機(jī),相關(guān)應(yīng)用程序和其他工業(yè)應(yīng)用中的問題,以及真空系統(tǒng)的主要功能在分析CNC雕刻機(jī)?! ∷鯟NC雕刻機(jī)的主要功能是適用于切割,在各種平面材料雕刻一個(gè)兩維的,三維雕刻。另一個(gè)通用的金屬斑塊雕刻機(jī)的主要功能和優(yōu)點(diǎn):強(qiáng)大,一臺(tái)機(jī)器,無論是產(chǎn)生青銅,不銹鋼板,鈦金,鋁等金屬表面牌刻字,圖形藝術(shù)和手工藝刻圖案等,可以很容易地得到。因?yàn)闄C(jī)器刻電鍍工件的強(qiáng)函數(shù)可以從微小被加工到大格式標(biāo)志徽章,銘牌?! NC雕刻機(jī)的真空系統(tǒng)應(yīng)用  木工  立體波浪板加工,櫥柜門,工藝木門,免漆門,屏風(fēng),雕銑工藝窗口異型加工家具產(chǎn)品?! ∧>吖I(yè)  雕刻各種浮雕,影雕,刻,平面雕刻,切割,清洗和其它效果底部。  雕刻業(yè)  廣告招牌,PVC板,特氟隆片,雙色板,標(biāo)牌制作,壓克力切割,塑料成型,字符切割,標(biāo)牌制作,切割PVC,水晶板,丙烯酸類,LED /氖槽,孔形字面切割,光盒成型。  石雕業(yè)  天然大理石,花崗石,人造石,墓碑,里程碑,瓷磚,玻璃和電線三維浮雕雕刻,切割,倒邊,鉆立體雕刻的材料。  手工業(yè)  各種精細(xì)圖案可以刻和在木,竹,人造大理石,有機(jī)板,雙色板,水晶等材料的文本。  真空系統(tǒng)是由真空泵套,P...
2019 - 11 - 12
壓力鑄造分為高壓鑄造和低壓鑄造。高壓鑄造和低壓鑄造有什么區(qū)別?隨著壓鑄行業(yè)的發(fā)展,越來越多的壓鑄制造商正在使用真空系統(tǒng)。如今,許多制造商對(duì)壓鑄零件有越來越高的要求。另外,在國內(nèi)壓鑄行業(yè)中,使用真空制造商不多,真空系統(tǒng)的制造商也不平衡。結(jié)果,壓鑄制造商感到他們?cè)谶x擇真空設(shè)備時(shí)別無選擇。本文旨在分析真空系統(tǒng)在高壓鑄造中的實(shí)際應(yīng)用效果,希望對(duì)壓鑄制造商有所幫助。  高壓鑄造和低壓鑄造有什么區(qū)別?  高壓鑄造是將熔融的合金液體倒入壓力室中,高速填充模具的型腔,并在壓力下使合金液體凝固而形成的鑄造方法。高壓壓鑄的主要特征是與其他鑄造方法不同的是高壓和高速。 1熔融金屬在壓力下充滿型腔,并在更高壓力下結(jié)晶并凝固。共同壓力是15-100MPa。 2金屬液體通常以10-50 m/s的速度高速填充模腔,有些甚至?xí)^80 m/s(模腔通過入口澆口引入模腔的線速度),因此熔融金屬填充時(shí)間非常短,可以在約0.01-0.2秒內(nèi)填充型腔(取決于鑄件的大小)?! 〉蛪鸿T造的過程是:在密封的坩堝(或密封的罐)中,引入干燥的壓縮空氣,熔融金屬在氣壓的作用下沿立管上升進(jìn)入澆口,并順利通過澆口。進(jìn)入腔體和保持在坩堝內(nèi)的液面的氣體壓力。直到鑄件完全凝固。然后,釋放液體表面上的氣壓,并且液體提升管中的未固化金屬液體流回坩堝。重新打開并取出鑄件?! 鸿T的真空系統(tǒng)原理  壓鑄真空系統(tǒng)主要由三部分組成:真空閥,真空單元和控制...
2019 - 11 - 14
水環(huán)真空泵在使用時(shí)會(huì)產(chǎn)生較大的震動(dòng),這是一種相對(duì)常見的情況。這取決于其自身電動(dòng)機(jī)的特性。通常,它不影響設(shè)備的正常使用,但是在使用環(huán)境時(shí)有一些特殊的要求,對(duì)設(shè)備的要求比較高,這種情況可能要求水環(huán)真空泵設(shè)備降低震動(dòng)程度,以下將與小編來看看一起如何解決它?! ?、對(duì)設(shè)備傳動(dòng)系統(tǒng)的改造也可以達(dá)到減震的目的。通常的具體操作是將設(shè)備和驅(qū)動(dòng)軸之間的原始剛性連接調(diào)整為彈性連接,這也可以大大減少電動(dòng)機(jī)和驅(qū)動(dòng)軸到設(shè)備的振動(dòng)傳遞。通常建議使用彈性套筒銷聯(lián)軸器,以使電動(dòng)機(jī)和驅(qū)動(dòng)軸振動(dòng),但使用撓性聯(lián)軸器后,傳遞到水環(huán)真空泵的振動(dòng)將大大降低?! ?、增強(qiáng)管道剛度后也可以實(shí)現(xiàn)減震。通常,直接在設(shè)備上進(jìn)行加固操作不是很容易。因此,在加固時(shí),在出口鋼管的焊接處使用加固。具體的操作方法是將真空泵出口與出口閥的連接管中使用的法蘭沿入口和出口的方向焊接。這樣可以大大提高鋼管的剛度,并最大程度地減少變形的記錄。實(shí)際操作后,可以證明加固后,減震效果非常好?! ∫陨鲜撬h(huán)真空泵減震的方法。除上述方法外,如果需要進(jìn)行減震處理,還可以咨詢專業(yè)人員,選擇適合設(shè)備的方法,不要盲目調(diào)整。
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2025 - 04 - 15
針對(duì)PCB熱壓機(jī)配套中央真空泵系統(tǒng)方案,以下是一個(gè)綜合性的解決方案,結(jié)合高效節(jié)能、穩(wěn)定性、維護(hù)便利性及智能化控制等關(guān)鍵要素:一、系統(tǒng)設(shè)計(jì)原則高效節(jié)能采用羅茨水環(huán)真空機(jī)組作為核心配置,羅茨泵作為前級(jí)泵快速排出空氣,降低后級(jí)水環(huán)泵負(fù)荷,減少能耗。水環(huán)泵以水為介質(zhì),無需潤滑油,避免油污染,符合環(huán)保要求。引入變頻調(diào)速技術(shù),根據(jù)生產(chǎn)需求動(dòng)態(tài)調(diào)整真空泵運(yùn)行速度,確保設(shè)備始終處于高效區(qū)運(yùn)行。穩(wěn)定性與可靠性設(shè)計(jì)集中式抽真空模式,統(tǒng)一管道布局,減少彎頭和過長(zhǎng)管道,降低氣體流動(dòng)阻力,確保真空度穩(wěn)定。采用智能控制系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空度、溫度等參數(shù),自動(dòng)調(diào)節(jié)泵的運(yùn)行狀態(tài),避免全負(fù)荷運(yùn)行,延長(zhǎng)設(shè)備壽命。維護(hù)便利性真空泵及管道系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì),便于快速拆卸和更換部件,降低維護(hù)成本。定期對(duì)真空泵進(jìn)行保養(yǎng),如更換密封件、清洗泵腔,確保性能處于最佳狀態(tài)。二、具體配置方案真空泵組羅茨泵:作為前級(jí)泵,快速抽氣,降低系統(tǒng)壓力。水環(huán)泵:作為后級(jí)泵,維持高真空度,處理大量氣體。備用泵:配置一臺(tái)備用泵,確保主泵故障時(shí)系統(tǒng)仍能持續(xù)運(yùn)行。管道系統(tǒng)主管道:采用大直徑不銹鋼管道,減少阻力,確保氣體快速流動(dòng)。分支管道:根據(jù)熱壓機(jī)布局,合理設(shè)計(jì)分支管道,確保每臺(tái)設(shè)備真空度均勻。閥門與傳感器:在關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)安裝真空閥和壓力傳感器,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制??刂葡到y(tǒng)PLC控制器:集成變頻器、傳感器等設(shè)備,實(shí)現(xiàn)真空泵的自動(dòng)啟停、調(diào)速和故障報(bào)警。人機(jī)界面(HMI...
2025 - 08 - 08
在液冷工藝中,德國SPECK品牌磁力泵憑借其無泄漏設(shè)計(jì)、耐極端工況、高可靠性、低維護(hù)需求以及廣泛適配性,成為輸送冷卻介質(zhì)的理想選擇,具體優(yōu)勢(shì)如下:1. 無泄漏設(shè)計(jì):保障液冷系統(tǒng)安全與介質(zhì)純凈磁力驅(qū)動(dòng)技術(shù):SPECK磁力泵通過磁場(chǎng)傳遞動(dòng)力,傳動(dòng)軸無需穿透泵殼,徹底消除傳統(tǒng)機(jī)械密封泵的泄漏風(fēng)險(xiǎn)。這一特性對(duì)液冷工藝至關(guān)重要,可防止冷卻介質(zhì)泄漏導(dǎo)致系統(tǒng)污染、設(shè)備損壞或安全隱患(如短路、腐蝕)。密封性能穩(wěn)定:隔離套設(shè)計(jì)確保介質(zhì)與外界完全隔離,尤其適用于輸送有毒、易燃或昂貴的冷卻介質(zhì)(如特殊導(dǎo)熱油),避免泄漏造成的經(jīng)濟(jì)損失和安全風(fēng)險(xiǎn)。2. 耐極端工況:適應(yīng)高溫高壓液冷需求高溫性能:SPECK磁力泵可輸送介質(zhì)溫度高達(dá)350℃的導(dǎo)熱油或180℃的水基冷卻液,滿足高溫液冷系統(tǒng)(如工業(yè)模具溫控、激光設(shè)備冷卻)的需求。例如,其EY-4281-MK.0009型號(hào)工作溫度達(dá)350℃,揚(yáng)程200米,流量110m³/h,適用于高壓高溫場(chǎng)景。高壓能力:部分型號(hào)(如CY-4282.0067)揚(yáng)程可達(dá)120米,支持高壓循環(huán)液冷系統(tǒng)(如大型數(shù)據(jù)中心冷卻、高壓反應(yīng)釜溫控),確保冷卻介質(zhì)高效循環(huán)。耐腐蝕材質(zhì):泵體材質(zhì)可選不銹鋼、鈦合金或特殊合金,適應(yīng)不同冷卻介質(zhì)的化學(xué)特性(如酸性、堿性或含雜質(zhì)液體),避免腐蝕導(dǎo)致的性能下降或泄漏。3. 高可靠性與長(zhǎng)壽命:降低停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)與維護(hù)成本無接觸傳動(dòng):磁力泵無機(jī)械密封摩擦,減少...
2025 - 11 - 17
造粒機(jī)用干式集中真空泵系統(tǒng)在塑料、化工、食品等行業(yè)的造粒生產(chǎn)中具有顯著優(yōu)勢(shì),其通過無油、高效、穩(wěn)定的設(shè)計(jì),解決了傳統(tǒng)濕式真空泵的諸多痛點(diǎn)。以下是該系統(tǒng)的核心優(yōu)勢(shì)及具體應(yīng)用場(chǎng)景分析:一、核心優(yōu)勢(shì)1. 無油污染,保障產(chǎn)品質(zhì)量干式運(yùn)行機(jī)制:干式真空泵通過機(jī)械間隙或特殊材料(如碳精片、陶瓷)實(shí)現(xiàn)密封,無需潤滑油參與抽氣過程,徹底避免油蒸氣或油滴進(jìn)入造粒系統(tǒng)。產(chǎn)品純凈度提升:在塑料造粒中,油污染會(huì)導(dǎo)致顆粒表面油斑、內(nèi)部孔隙率增加,影響材料力學(xué)性能(如拉伸強(qiáng)度、沖擊韌性)。干式泵可確保顆粒表面光滑、密度均勻,滿足高端應(yīng)用(如醫(yī)用級(jí)塑料、食品包裝材料)的嚴(yán)苛要求。案例:某聚乙烯造粒生產(chǎn)線改用干式泵后,產(chǎn)品不良率從3%降至0.5%,客戶投訴率下降80%。2. 高效節(jié)能,降低運(yùn)行成本抽氣速率與極限真空度優(yōu)化:干式泵(如螺桿泵、爪式泵)采用多級(jí)壓縮或變?nèi)莘e設(shè)計(jì),抽氣速率比傳統(tǒng)水環(huán)泵提升30%-50%,極限真空度可達(dá)1Pa以下,顯著縮短造粒機(jī)抽真空時(shí)間(如從10分鐘縮短至5分鐘)。能耗對(duì)比:以100m³/h抽氣量為例,干式螺桿泵功率約7.5kW,而水環(huán)泵需15kW(需配套冷卻水循環(huán)系統(tǒng)),年節(jié)電量超4萬度(按8000小時(shí)運(yùn)行計(jì)算)。維護(hù)成本降低:干式泵無油液更換、過濾器清洗等維護(hù)需求,年維護(hù)成本可減少60%-70%。3. 穩(wěn)定可靠,適應(yīng)惡劣工況耐腐蝕與耐顆粒性:干式泵內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單(無復(fù)雜油路)...
2019 - 08 - 29
水環(huán)真空泵是工業(yè)泵送工作中常用的一種設(shè)備。這要求水環(huán)泵的內(nèi)部操作具有非常高的流暢性,因此如果存在問題,水環(huán)真空泵機(jī)器可能會(huì)卡住并且不能工作。由于某種原因,水環(huán)真空泵馬達(dá)過載甚至轉(zhuǎn)動(dòng),習(xí)慣上稱這種現(xiàn)象“卡死”。水環(huán)真空泵卡住的原因是:1.彈簧損壞,導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)件受到不均勻的應(yīng)力。2.裝配不當(dāng),局部壓力大.3.由于水環(huán)真空泵進(jìn)風(fēng)口過濾器丟失或損壞,外部污垢和金屬屑落入水環(huán)泵腔內(nèi)。4.水環(huán)真空泵泵轉(zhuǎn)子,旋轉(zhuǎn)葉片端面與端蓋之間的間隙過小,摩擦熱產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)葉片摩擦或過熱而摩擦力過大,且硬度較大旋轉(zhuǎn)葉片太大,因此端面很深。劃傷,燒結(jié)卡住了.5.當(dāng)軸與套筒配合過緊時(shí),潤滑油路不平滑,泵會(huì)因相互粘連而長(zhǎng)時(shí)間卡住。水環(huán)真空泵泵室生銹。6.水環(huán)真空泵在潮濕環(huán)境中運(yùn)行或去除潮濕氣體,導(dǎo)致泵油變成乳化液或泵油垢或甚至地殼泵油的粘度太大(冬季).7.水環(huán)真空泵轉(zhuǎn)子在啟動(dòng)時(shí)裂開.8.某些水環(huán)真空泵在高低真空室的空氣通道上有半圓形凹槽,壓在它們上面的橡膠板壓得太緊,擋住了中間空氣通道等。在卡紙時(shí),由于轉(zhuǎn)子過載或轉(zhuǎn)動(dòng)水環(huán)真空泵電機(jī),電機(jī)很容易燃燒。即使不燒壞電機(jī),如果不停止修理,也會(huì)損壞水環(huán)真空泵的泵腔,破壞旋轉(zhuǎn)葉片,扭轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子,燒壞端面等。水環(huán)真空泵堵塞總是發(fā)生在轉(zhuǎn)子,旋轉(zhuǎn)葉片和端面或中間隔板之間或轉(zhuǎn)子和泵室之間,這些是決定水環(huán)真空泵極限壓力的關(guān)鍵部件,所以發(fā)卡。在死亡的情況下,必須緊急停止泵,消除故障,并正確修理。不...
2019 - 10 - 24
許多人可能對(duì)水環(huán)真空泵的排氣了解不多,這對(duì)設(shè)備的運(yùn)行有害現(xiàn)象,因此我們必須找到在使用過程中防止它發(fā)生的方法?! ∫?,水環(huán)真空泵-過濾  為了解決這個(gè)問題,可以將過濾器裝置添加到水環(huán)真空泵前進(jìn)氣管中,以進(jìn)行灰塵或殘留液體。過濾并定期清潔過濾設(shè)備,以確保良好的性能。同時(shí),對(duì)于整個(gè)水環(huán)真空泵維護(hù)泵體并及時(shí)清洗閥板?! 《?,水環(huán)真空泵-散熱  由于水環(huán)真空泵活塞在氣缸中不斷往復(fù)運(yùn)動(dòng),因此泵體的溫度過高,導(dǎo)致材料碳化。引發(fā)事故的條件。為避免這種情況,請(qǐng)?jiān)诖蜷_泵之前先打開水環(huán)真空泵的冷卻系統(tǒng),并確保系統(tǒng)入口和出口管道暢通無阻?! ∪?,水環(huán)真空泵-清洗緩沖  在水環(huán)真空泵之前添加水洗和緩沖罐可以有效地清潔吸入的殘留液體,并對(duì)混合空氣具有一定的冷卻效果。但是,在實(shí)際工作中,經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)以下兩種現(xiàn)象:  1.罐內(nèi)殘留液體量少時(shí),少量液體被吸入泵體內(nèi),物料在高溫下會(huì)碳化;  2.當(dāng)殘留液體量很大時(shí),例如,如果沒有及時(shí)排出,則水環(huán)真空泵可能會(huì)吸入液體并產(chǎn)生沖洗泵,從而引起大的設(shè)備事故。  因此,在生產(chǎn)過程中,員工需要嚴(yán)格按照規(guī)定使用水環(huán)真空泵,并及時(shí)排出殘留的液體,以免發(fā)生事故。  四,行氣管阻塞或不流暢  該故障可能導(dǎo)致包含甲醇蒸氣的混合氣體及時(shí)排出。當(dāng)其積累到一定程度時(shí),它將嚴(yán)重泄漏,并且水環(huán)真空泵會(huì)猛烈撞擊甚至爆炸。  造成這種現(xiàn)象的原因很多。這可能是由于設(shè)計(jì)缺陷導(dǎo)致的,導(dǎo)致行氣管的位置相對(duì)較低。管...
2019 - 10 - 31
很多人會(huì)問真空泵機(jī)組的選擇方法?真空機(jī)組的工作流程是什么?真空機(jī)組的使用說明及注意事項(xiàng)?現(xiàn)在我們就來了解一下.  真空泵機(jī)組的選擇方法  真空泵機(jī)組主要是羅茨泵,真空泵機(jī)組是羅茨泵。旋片泵與前級(jí)泵串聯(lián)連接。其結(jié)構(gòu)緊湊,操作簡(jiǎn)便。適用于抽取空氣和其他非冷凝性和非腐蝕性氣體,用于需要高抽速和高真空的各種真空系統(tǒng)中。如:真空熔煉,功率電容器,變壓器,真空浸漬處理,真空鍍膜設(shè)備的預(yù)萃取。當(dāng)一個(gè)泵不能滿足抽氣和真空要求時(shí),需要組合多個(gè)泵以相互補(bǔ)充,以滿足工藝要求。  需要預(yù)先抽真空;一些真空泵入口壓力低于大氣壓,并且真空泵機(jī)組中的真空泵不能在大氣壓下運(yùn)行。需要前級(jí)泵,因此需要組合泵。組合使用的真空泵稱為真空泵機(jī)組,可以使真空系統(tǒng)獲得更好的真空度和排量。組合真空泵應(yīng)正確選擇。不同的真空泵對(duì)提取的氣體有不同的要求。例如,通常羅茨-旋轉(zhuǎn)葉片機(jī)組不適用于包含更多可冷凝氣體的系統(tǒng)?! ≌婵諜C(jī)組的工作流程是什么  真空機(jī)組所需的羅茨真空泵不能直接排到大氣中。如果直接排氣氣氛將形成羅茨真空泵的吸入口和排氣口的壓力差太大,從而使羅茨真空泵過載,如單純?cè)黾?201真空泵的電機(jī)功率將形成羅茨真空泵020 -1導(dǎo)致過熱真空泵轉(zhuǎn)子之間的小間隙由于熱收縮而迅速被卡住。 羅茨真空機(jī)組必須確保羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙,以確保羅茨真空泵可以達(dá)到更高的真空度。因此,羅茨真空泵必須配備前級(jí)泵。當(dāng)前級(jí)泵將系統(tǒng)內(nèi)部的壓力拉至一定范...
2020 - 05 - 22
1.水環(huán)式真空泵怎么防止腐蝕       水環(huán)真空泵是一種粗糙的真空泵,可以獲得2000-4000帕的極限真空和270-670帕的一系列大氣噴射器。水環(huán)真空泵安裝了一個(gè)帶固定葉片的偏心轉(zhuǎn)子。水(液體)被拋到定子的墻上,形成與定子液環(huán)同心的液環(huán),轉(zhuǎn)子葉片形成一個(gè)可變?nèi)莘e的旋轉(zhuǎn)式可變?nèi)莘e真空泵。水環(huán)真空泵具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、加工容易、抽吸均勻、運(yùn)行穩(wěn)定可靠、操作簡(jiǎn)單、維護(hù)方便等優(yōu)點(diǎn)?! ∮捎谒h(huán)真空泵中的氣體壓縮是等溫的,易燃易爆氣體可以去除。由于沒有排氣閥和摩擦面,帶有灰塵、可冷凝氣體和氣水混合物的氣體可以被去除。具有這些突出的特點(diǎn),盡管它的效率很低,但它仍然廣泛應(yīng)用于石油、化學(xué)工業(yè)、機(jī)械、造紙、采礦、輕工業(yè)、醫(yī)藥和食品工業(yè)。  2.腐蝕原因分析  隨著真空泵在水環(huán),越來越多的應(yīng)用,由于高溫、高壓、強(qiáng)腐蝕、氣蝕等惡劣環(huán)境的影響,設(shè)備在運(yùn)行過程中經(jīng)常出現(xiàn)磨損、腐蝕、泄漏等現(xiàn)象,制約了企業(yè)的正常生產(chǎn),甚至導(dǎo)致火災(zāi)、爆炸、污染等嚴(yán)重的安全事故。腐蝕的主要原因可歸納如下:  1)水環(huán)真空泵的水經(jīng)過多次循環(huán)后,不僅酸度增加,而且水環(huán)湍流會(huì)與一氧化碳充分接觸,使水呈酸性,從而在水環(huán)真空泵的流動(dòng)部分造成電化學(xué)腐蝕情況,從而造成葉輪等流動(dòng)部分的腐蝕。  2)水環(huán)真空泵邊界條件的改變會(huì)增加局部流量,在葉輪背面產(chǎn)生負(fù)壓,在使用過程中容易產(chǎn)生氣穴現(xiàn)象,形成大量氣泡。在放電...
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真空泵的工作原理及保養(yǎng)竅門

日期: 2020-04-30
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  真空泵是一種在電磁力的作用下將空氣泵入容器以保持真空的裝置。真空泵廣泛應(yīng)用于低溫設(shè)備、造紙機(jī)械、真空設(shè)備、石油、礦山、地基處理等領(lǐng)域。不同的真空泵有不同的工作原理和用途。今天,我將給你分享幾個(gè)常見真空泵的工作原理和維護(hù)技巧。

  一、水環(huán)真空泵

  常見真空泵的工作原理及維護(hù)要點(diǎn)

  泵中帶有固定葉片的偏心轉(zhuǎn)子向定子,壁噴水,水形成與定子液環(huán)同心的液環(huán),轉(zhuǎn)子葉片一起形成可變?nèi)莘e的旋轉(zhuǎn)變?nèi)莘e真空泵。旋轉(zhuǎn)葉片分為單級(jí)和雙級(jí)。其原理是利用偏心轉(zhuǎn)子通過旋轉(zhuǎn)在泵腔內(nèi)形成體積變化,將氣體排出泵外。在抽吸過程中,抽吸室的容積增加,真空度降低。容器中的氣體被吸入泵室。在排出過程中,體積減小,壓力增加,最后吸入的氣體通過油封排出泵外。

真空泵的工作原理及保養(yǎng)竅門


  二、羅茨真空泵

  在羅茨泵的泵室中,兩個(gè)“8”形轉(zhuǎn)子安裝在一對(duì)相互垂直的平行軸上,一對(duì)傳動(dòng)比為1的齒輪帶同步運(yùn)動(dòng),并以彼此相反的方向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間保持一定的間隙,從而可以實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)轉(zhuǎn)。因?yàn)榱_茨泵是一個(gè)沒有內(nèi)部壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,所以高、中真空泵需要一個(gè)前級(jí)泵。羅茨泵的極限真空不僅取決于泵本身的結(jié)構(gòu)和制造精度,還取決于前級(jí)泵的極限真空。

  常見真空泵的工作原理及維護(hù)要點(diǎn)

  為了提高泵的極限真空度,羅茨泵可以串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的連續(xù)旋轉(zhuǎn),泵送的氣體從空氣入口被吸入轉(zhuǎn)子和泵殼之間的空間v0,然后通過空氣出口排出。由于v0空間在吸入后完全關(guān)閉,泵室內(nèi)的氣體不會(huì)被壓縮和膨脹。然而,當(dāng)轉(zhuǎn)子的頂部圍繞排氣口的邊緣轉(zhuǎn)動(dòng)并且v0空間與排氣側(cè)連通時(shí),由于排氣側(cè)的高氣體壓力,一些氣體沖回到空間v0中,導(dǎo)致氣體壓力突然增加。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),氣體離開泵。

  三、旋片真空泵

  旋片真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓力范圍為101325 ~ 1.33。 10-2屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用,也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前置泵。旋片泵可以泵出密封容器中的干燥氣體,如果安裝了空氣壓艙物,還可以泵出一定量的可冷凝氣體。然而,它不適合泵出含有太多氧氣、對(duì)金屬有腐蝕性、與泵油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以及含有微?;覊m的氣體。旋片泵是真空技術(shù)中最基本的真空采集設(shè)備之一。旋片泵大多是中小型泵。

  常見真空泵的工作原理及維護(hù)要點(diǎn)

  旋片泵有兩種類型:?jiǎn)渭?jí)和雙級(jí)。所謂雙級(jí)是指兩個(gè)單級(jí)泵在結(jié)構(gòu)上串聯(lián)。通常分為兩個(gè)階段以獲得更高的真空度。旋片泵的泵速與入口壓力的關(guān)系規(guī)定如下:在入口壓力為1333帕、1.33帕和1.33 10-1(帕)時(shí),泵速值不得分別低于泵額定泵速的95%、50%和20%。旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋轉(zhuǎn)葉片、端蓋、彈簧等組成。轉(zhuǎn)子偏心安裝在旋片泵的腔內(nèi),轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切(兩者之間有一個(gè)小間隙),兩個(gè)帶彈簧的旋轉(zhuǎn)葉片安裝在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)。旋轉(zhuǎn)時(shí),旋轉(zhuǎn)板的頂端通過離心作用與泵腔內(nèi)壁保持接觸。

真空泵的工作原理及保養(yǎng)竅門


  由轉(zhuǎn)子、泵室和兩個(gè)端蓋包圍的月牙形空間被分成三部分:A、B和C。當(dāng)轉(zhuǎn)子沿箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸入口連通的空間A的體積逐漸增大并處于吸入過程中。與排氣口連通的空間C的體積逐漸減小并處于排氣過程中。中央空間B的體積也逐漸減小并處于壓縮過程中。由于空間A的體積逐漸增加(即,膨脹),氣體壓力降低,并且泵入口外部的氣體壓力大于空間A中的壓力,因此氣體被吸入。當(dāng)空間A與吸入口隔離時(shí),即它轉(zhuǎn)到空間B的位置時(shí),氣體開始被壓縮,體積逐漸減小,最后它與排出口連通。當(dāng)壓縮氣體超過排氣壓力時(shí),排氣門被壓縮氣體推開,氣體穿過油箱中的油層并排放到大氣中。泵的連續(xù)運(yùn)行達(dá)到了連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過空氣通道轉(zhuǎn)移到另一級(jí)(低真空級(jí)),則在排放到大氣中之前,它被低真空級(jí)抽出并被低真空級(jí)壓縮,從而形成兩級(jí)泵。此時(shí),總壓縮比由兩個(gè)階段承擔(dān),從而增加最終真空度。

  你對(duì)真空泵的維護(hù)了解多少?以下是維護(hù)真空泵的一些技巧:

  1.經(jīng)常檢查油位位置,不符合規(guī)定必須調(diào)整到符合要求。真空泵運(yùn)行時(shí),油位應(yīng)以油標(biāo)中心為準(zhǔn)。

  2.換油周期應(yīng)由用戶根據(jù)實(shí)際使用情況和是否滿足性能要求自行決定。對(duì)于一般的新型真空泵,建議在清除干凈和干燥的氣體時(shí),每100小時(shí)左右更換一次油。在油中看不到黑色金屬粉末后,可以適當(dāng)延長(zhǎng)換油期。

  3.經(jīng)常檢查油情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油,以保證真空泵的正常工作。

  4.在運(yùn)行的第一個(gè)月,真空泵將在100小時(shí)后更換潤滑油,然后每500小時(shí)更換一次。

  5.正常情況下,真空泵應(yīng)在運(yùn)行2000小時(shí)后進(jìn)行大修,以檢查橡膠密封的老化程度,檢查排氣閥片是否破裂,并清除沉積在閥片和排氣閥座上的污垢。清潔真空泵室內(nèi)的所有零件,如轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子、彈簧等。通常,它用汽油清洗并干燥。清潔橡膠部件后,用干布擦干。清潔和組裝時(shí),小心輕放,小心輕放,避免碰撞。

  6.向軸承體添加軸承潤滑油,觀察油位應(yīng)在油標(biāo)中心線,潤滑油應(yīng)及時(shí)更換或補(bǔ)充。

  7.檢查真空泵管道和接頭有無松動(dòng)現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵,看看它是否靈活。

  8.重新組裝后,應(yīng)進(jìn)行試運(yùn)行。一般應(yīng)運(yùn)行2小時(shí),換油兩次。由于真空泵在清洗過程中會(huì)留有一定量的揮發(fā)性物質(zhì),正常運(yùn)行后應(yīng)投入正常運(yùn)行。

  9.啟動(dòng)電機(jī),當(dāng)真空泵運(yùn)行正常時(shí),打開出口壓力表和入口真空泵,根據(jù)顯示的適當(dāng)壓力,逐漸打開閘閥,同時(shí)檢查電機(jī)負(fù)荷。

  10.盡量將真空泵流量和揚(yáng)程控制在標(biāo)牌指示的范圍內(nèi),確保真空泵在最高效率點(diǎn)運(yùn)行,以獲得最大的節(jié)能效果。

  11.真空泵停止使用,首先關(guān)閉閘閥、壓力表,然后停止電機(jī)。

  12.真空泵運(yùn)行期間,軸承溫度不得超過環(huán)境溫度35,最高溫度不得超過80。

  13.真空泵在工作的第一個(gè)月,100小時(shí)后更換潤滑油,每500小時(shí)后,換一次油。

  14.定期調(diào)整填料壓蓋,確保填料室內(nèi)的泄漏正常(建議以液滴形式泄漏)。定期檢查軸套的磨損情況,磨損大時(shí)及時(shí)更換。

  15.當(dāng)真空泵長(zhǎng)時(shí)間停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),必須完全拆卸泵,擦干水,給旋轉(zhuǎn)部件和接頭涂上潤滑脂,并妥善保管。當(dāng)真空泵在寒冷的冬季使用時(shí),停止后,應(yīng)擰開泵體下部的排放塞,以排放介質(zhì)。防止霜凍開裂。


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發(fā)布時(shí)間: 2025 - 12 - 17
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100號(hào)真空泵油 專用潤滑油 旋片真空機(jī)油 包裝機(jī)通用 100號(hào)真空泵專用油 合成透明 低蒸汽壓 熱穩(wěn)定性強(qiáng) 適用于多種真空泵 規(guī)格齊全,100號(hào)真空泵油 高效潤滑 抗氧化 抗泡沫 油水分離佳 密封潤滑效果好 工業(yè)通用
發(fā)布時(shí)間: 2025 - 08 - 21
深圳恒才新型真空引水機(jī)組是一款集高效引水、智能控制與強(qiáng)大過濾功能于一體的先進(jìn)設(shè)備,以下從核心配置、性能優(yōu)勢(shì)、應(yīng)用場(chǎng)景及維護(hù)管理四個(gè)方面進(jìn)行詳細(xì)介紹:一、核心配置:德國工藝與智能控制的融合德國SPECK水環(huán)真空泵高效穩(wěn)定:采用德國SPECK品牌水環(huán)真空泵作為主泵,利用水作為工作介質(zhì),通過葉輪旋轉(zhuǎn)形成水環(huán),實(shí)現(xiàn)氣體的吸入、壓縮和排放。其結(jié)構(gòu)緊湊、運(yùn)行平穩(wěn),適用于抽吸含水蒸氣、腐蝕性氣體或微小顆粒的混合氣體,滿足泥水、粉塵等復(fù)雜工況需求。耐腐蝕性強(qiáng):泵體材質(zhì)可選不銹鋼或特殊合金,適應(yīng)不同水質(zhì)和化學(xué)環(huán)境,延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。低噪音設(shè)計(jì):通過優(yōu)化水環(huán)形成與氣體流動(dòng)路徑,降低運(yùn)行噪音,改善操作環(huán)境。西門子觸摸屏控制系統(tǒng)智能化操作:配備西門子觸摸屏,實(shí)現(xiàn)設(shè)備啟停、參數(shù)設(shè)置、狀態(tài)監(jiān)控、故障報(bào)警等功能的集成化操作。用戶可通過界面直觀查看真空度、流量、溫度等關(guān)鍵參數(shù),并一鍵調(diào)整運(yùn)行模式(如手動(dòng)/自動(dòng)切換)。遠(yuǎn)程管理:支持與上位機(jī)或云端平臺(tái)連接,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)分析,提升運(yùn)維效率。安全保護(hù):內(nèi)置過載、過熱、缺相等多重保護(hù)功能,確保設(shè)備安全運(yùn)行。二、性能優(yōu)勢(shì):快速引水與高效過濾的雙重保障1-3分鐘快速引水高效抽氣能力:水環(huán)真空泵在短時(shí)間內(nèi)建立高真空度(通??蛇_(dá)-0.098MPa以上),迅速排除系統(tǒng)內(nèi)空氣,形成負(fù)壓環(huán)境,實(shí)現(xiàn)快速引水。大流量設(shè)計(jì):泵體流道優(yōu)化,減少阻力損失,確保在引水過程中維持高流量,縮短引水時(shí)間。攪拌型過濾器配置直接過濾泥水混合物:過濾器內(nèi)置攪拌裝置,通過旋轉(zhuǎn)葉片打散沉淀物,防止泥沙、粉塵等固體顆粒沉積堵塞,同時(shí)利用水環(huán)的剪切力將顆粒分散在水中,實(shí)現(xiàn)高效過濾。微粒狀固體過濾:濾網(wǎng)精度可根據(jù)需求定制(如50-200目),有效攔截沙石、微粒等雜質(zhì),避免其進(jìn)入泵體或管道,保護(hù)設(shè)備免受磨損。排水便捷:過濾器設(shè)計(jì)有反沖洗功能或快速拆卸結(jié)構(gòu),可定期清理濾網(wǎng)或排出沉積物,維護(hù)簡(jiǎn)單,降低停機(jī)時(shí)間。...
發(fā)布時(shí)間: 2025 - 07 - 23
高效抽氣能力:旋片真空泵通過轉(zhuǎn)子與旋片的協(xié)同運(yùn)動(dòng),周期性改變泵腔容積,實(shí)現(xiàn)氣體的快速吸入與壓縮排放。其抽速范圍通常為0.5-150升/秒,單級(jí)泵極限壓力可達(dá)1帕,雙級(jí)泵更可低至6.5×10?²帕,能滿足電子晶圓吸附等工藝對(duì)真空度的嚴(yán)苛要求。結(jié)構(gòu)緊湊設(shè)計(jì):機(jī)組小車采用一體化撬裝結(jié)構(gòu),將泵體、電控系統(tǒng)、過濾器等部件集成于緊湊空間內(nèi),占地面積小,便于在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)線靈活布局。其輕量化設(shè)計(jì)(如電機(jī)直聯(lián)驅(qū)動(dòng))進(jìn)一步減輕了設(shè)備重量,提升了便攜性。移動(dòng)靈活便捷:小車底部配備移動(dòng)輪,支持快速搬遷與多工位切換,尤其適用于需要頻繁調(diào)整設(shè)備位置的晶圓加工場(chǎng)景。部分機(jī)型還支持手自動(dòng)模式切換,確保在PLC損壞等緊急情況下仍能維持最低限度運(yùn)行。運(yùn)行穩(wěn)定可靠:旋片真空泵通過油膜密封與強(qiáng)制進(jìn)油潤滑設(shè)計(jì),確保運(yùn)動(dòng)部件間的完美氣密性與恒定潤滑,同時(shí)減少有害空間對(duì)極限壓力的影響。其內(nèi)置的自動(dòng)防返油雙重保險(xiǎn)裝置與金屬絲網(wǎng)粗過濾器,可有效防止油返入被抽系統(tǒng)與固體塵粒吸入泵腔,保障設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。維護(hù)簡(jiǎn)便經(jīng)濟(jì):機(jī)組小車結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,維護(hù)成本低。用戶可通過定期檢查油位、更換真空泵油(首次工作滿150小時(shí)后換油,之后每500小時(shí)換油)與油過濾器、清潔進(jìn)氣口濾網(wǎng)等常規(guī)操作,確保設(shè)備性能。其低成本、高性能的特點(diǎn)使其成為空間有限或預(yù)算敏感場(chǎng)景的理想選擇。安全防護(hù)完善:設(shè)備配備雙重密閉系統(tǒng)(充氣式電磁閥+機(jī)械止回閥)與排氣過渡器,可防止氣體倒流與油霧排放,避免晶圓污染或設(shè)備損壞。同時(shí),其內(nèi)置的吸氣閥可在停泵時(shí)自動(dòng)隔離泵與被抽系統(tǒng),防止油返入被抽系統(tǒng),保障操作安全。適應(yīng)性強(qiáng):旋片真空泵機(jī)組小車可單獨(dú)使用,也可與其他高真空泵(如分子泵)組成真空機(jī)組,以應(yīng)對(duì)不同工藝對(duì)真空度的差異化需求。例如,在晶圓鍵合工藝中,可先通過旋片泵快速抽至低真空,再切換至分子泵實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境,提升工藝效率。經(jīng)濟(jì)性高:機(jī)組小車采用無油設(shè)計(jì)(...
發(fā)布時(shí)間: 2025 - 07 - 22
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