一、矩形超高真空插板閥概述

此系列閥門為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式，在結(jié)構(gòu)上設(shè)計(jì)合理，外形上美觀，并具有動(dòng)作平穩(wěn)、沖擊振動(dòng)小、使用可靠、密封性能好和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，是半導(dǎo)體行業(yè)中真空設(shè)備自動(dòng)化首選閥門之一。閥門是以壓縮空氣推動(dòng)氣缸為動(dòng)力，通過傳動(dòng)桿推（拉）動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)，帶著驅(qū)動(dòng)體沿軸向運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)體通過擺桿與閥板連接并帶動(dòng)閥板開啟及關(guān)閉動(dòng)作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。

二、矩形超高真空插板閥特點(diǎn)

采用多擺桿均勻分布支撐結(jié)構(gòu)，閥板受力均勻，閥門開啟沖擊振動(dòng)小，噪聲低；

四滾輪支撐運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，動(dòng)作平穩(wěn)，運(yùn)動(dòng)噪聲??；

動(dòng)密封采用波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，密封可靠；

閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率小；

在更小的體積上，一次性通過更多的工件，合理使用了空間。