1、真空泵的工作壓力應滿足真空設備的極限真空和工作壓力要求。例如，真空鍍膜要求的真空度為1 × 10-5mmHg，所選真空泵的真空度必須至少為5 ×
10-6mmHg。通常將泵的真空選擇為比真空設備的真空高一半數(shù)量級。
2、正確選擇真空泵的工作點。每個泵都有一定的工作壓力范圍，例如：擴散泵為10-3?10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓力而變化，其穩(wěn)定的工作壓力范圍為5
× 10-4?5 ×
10-6mmHg。因此，泵的工作點應在此范圍內(nèi)選擇，并且不應在10-8mmHg的環(huán)境下長時間工作。另一個例子是鈦熱升華泵可以在10-2mmHg的壓力下工作，但其工作壓力應小于10-20mm
10-5mmHg。
3、真空泵應該能夠在真空設備的工作壓力下清除真空設備過程中產(chǎn)生的所有氣體。
4、正確組合真空泵。由于真空泵具有選擇性泵送功能，因此有時一個泵無法滿足泵送要求，因此需要組合多個泵以相互補充才能滿足泵送要求。例如，鈦升華泵對氫的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三極濺射離子泵(或兩極非對稱陰極濺射離子泵)對于氬氣則具有一定的抽吸速度。當結(jié)合使用時，真空裝置將具有更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空。一些真空泵的出口壓力低于大氣壓，因此需要前級泵，因此必須將這些泵組合在一起。
5、真空設備油污的要求。如果嚴格要求設備無油，則應選擇各種無油泵，例如：水環(huán)泵，分子篩吸附泵，濺射離子泵，低溫泵等。如果要求不嚴格，您可以選擇擁有一個油泵，再加上一些油污染措施，例如添加冷阱，擋板，油阱等，也可以達到清潔真空的要求。
6、了解要泵送的氣體的成分。該氣體不包含可冷凝的蒸氣，粉塵和腐蝕性。選擇真空泵時，您需要了解氣體成分并為泵送的氣體選擇合適的泵。如果氣體中包含蒸氣，顆粒和腐蝕性氣體，請考慮在泵的入口管道上安裝輔助設備，例如冷凝器，集塵器等。
7、真空泵中的油蒸氣如何影響環(huán)境?如果環(huán)境不允許污染，則可以選擇無油真空泵或?qū)⒂驼魵馀欧诺酵獠俊?/span>
8、真空泵運行期間產(chǎn)生的振動對過程和環(huán)境沒有影響。如果過程不允許，請選擇無振動的泵或采取防振措施。
9、真空泵的價格，運行和維護成本。